在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。
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液氧泵主要由机座、传动机构、十字头组件、泵体、缸套和柱塞、泵头和排液阀、密封填料、液体过滤网等八大部分组成。
密封件：活塞环  导向环 密封圈
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因此，低温泵需要通过吸附材料来帮助其抽除气体。另外，吸附材料在低温下比无吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡压力。低温泵的工作方式是通过表面吸附而进行的，表面积越大对低温泵的工作性能越有利。因此，合适的吸附材料必须具有较大的比表面和吸附容量。对吸附材料进行表征的物理量主要有：几何形状和颗粒大小分布；表面结构；密度；比表面积；孔径分布、孔容和平均孔径大小等。研究低温泵的吸附材料主要是通过以上参数的表征而进行的。

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低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。
注入式液氦低温泵
主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。
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