在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。
闭路循环气氦制冷机低温泵
它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，一级冷板温度为50～100K，典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。

低温泵使用标准：
(1)低温泵在获取洁净和无油真空方面，具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准；
(2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方有较大抽速；
(3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速；
(4)在要求大抽速的真空设备中，低温泵是经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速
(5)低温泵是基于低温吸附而工作的，不需要其他电子材料，不会有波动；
(6)在真空中无任何运动部件，高稳定性，也不会带来密封问题；
(7)低温泵的安装无任何方向要求；
(8)低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。

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当活寒（或柱塞）从左向右移动时，泵缸内的容积就增大，压力随着降低，进入管路的液体压力大于泵缸中的压力时，液体在压差作用下，打开吸入阀而进入泵缸内。在传动箱的曲柄转过180º，活寒向左移动。由于低温液体基本上是不可压缩的，低温液体立即被活塞压缩而压力迅速升高。直到泵缸中的液体压力大到足以打开排出阀时，低温液体经过排出阀向排液管道输出。当活塞被曲柄拉动又向右移动时，重复以上过程。温州盛义低温活塞杆。
锥形密封圈选用的是进口聚四氟乙烯料。导向环、活塞环选用的是进口聚四氟乙烯跟青铜粉或者黄铜粉经模塑加工制成毛坯。再经由数控机床车削而成。
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