②低温吸附：气体分子以一个单分子层厚 ( 厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力，用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。
活性炭在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。泵的极限压力为帕，工作压力范围为帕，要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒。此外，尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内，其抽气速率可达到106升/秒以上。

当活寒（或柱塞）从左向右移动时，泵缸内的容积就增大，压力随着降低，进入管路的液体压力大于泵缸中的压力时，液体在压差作用下，打开吸入阀而进入泵缸内。在传动箱的曲柄转过180º，活寒向左移动。由于低温液体基本上是不可压缩的，低温液体立即被活塞压缩而压力迅速升高。直到泵缸中的液体压力大到足以打开排出阀时，低温液体经过排出阀向排液管道输出。当活塞被曲柄拉动又向右移动时，重复以上过程。温州盛义低温活塞杆。

吸附材料对低温泵的工作性能具有较大的影响。单从真空获得方面来说，一台无任何吸附剂的低温泵或许也可以满足要求。但是，一般情况下低温泵是依靠液氦或制冷机而获得低温的，其温度能达到4 K。而此时又需要低温泵抽除氦气，因为真空检漏会经常用到氦气。

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液氧泵主要由机座、传动机构、十字头组件、泵体、缸套和柱塞、泵头和排液阀、密封填料、液体过滤网等八大部分组成。
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低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。
注入式液氦低温泵
主要由液氦容器、泵体和连接挡板的液氮腔体等部分组成。为了减少液氦消耗，液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。
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