为了能及时冷却放电的工作气体和及时带走不稳定因素，要求激光切割加工激光风机能推动工作气体高速流动，在放电管中气体流速约为300m/s至亚音速为了能使CO2激光器长时间稳定运行，要求外部的工作气体源CO2、N2He按一定比例混合以后，能随时补充少量的新鲜气体到放电区12.3真空泵真空泵的作用是在激光器开始运行时，抽去放电管中的气体及其他杂质气体，使得充入的工作气体保持正常的混合比及纯度。同时在激光器运行过程中，真空泵将抽去少量变质的气体，使补充新鲜气体后，放电管内气压保持恒定。这是高功率轴快流CO2激光器连续、稳定运行的必要条件和关键技术。
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商品化的高功率激光器都必须给出M2值（或TDL值）。常用的高功率千瓦级二氧化碳激光器的TDL值在1~3之间。实际报道的值为M2=k.2.衡量光束质量的另一重要指标是光束聚焦后光点的空间和时间的稳定性。它要求激光束的模式和功率长时间的稳定。常用二氧化碳激光器的光束稳定度≤0.2mrad要获得好的光束质量，在谐振腔设计上应该做到基模或低阶模的输出，同时气体的折射率和增益分布是轴对称（或圆对称的）。
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