一般说来，泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时，水的蒸气压已低于 帕。温度为20K时，除氦、氖和氢外，其他气体的蒸气压也低于 帕。但由于被抽容器和低温冷板的温度不同，泵的极限压力高于冷凝物的蒸气压。对于室温下的容器，低温板为20K时，泵的极限压力约为冷凝物蒸气压力的4倍。
吸附材料对低温泵的工作性能具有较大的影响。单从真空获得方面来说，一台无任何吸附剂的低温泵或许也可以满足要求。但是，一般情况下低温泵是依靠液氦或制冷机而获得低温的，其温度能达到4 K。而此时又需要低温泵抽除氦气，因为真空检漏会经常用到氦气。

当活寒（或柱塞）从左向右移动时，泵缸内的容积就，压力随着降低，进入管路的液体压力大于泵缸中的压力时，液体在压差作用下，打开吸入阀而进入泵缸内。在传动箱的曲柄转过180º，活寒向左移动。由于低温液体基本上是不可压缩的，低温液体立即被活塞压缩而压力迅速升高。直到泵缸中的液体压力大到足以打开排出阀时，低温液体经过排出阀向排液管道输出。当活塞被曲柄拉动又向右移动时，重复以上过程。温州盛义低温活塞杆。

低温泵使用标准：
(1)低温泵在获取洁净和无油真空方面，具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准；
(2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方有较大抽速；
(3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速；
(4)在要求大抽速的真空设备中，低温泵是经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速
(5)低温泵是基于低温吸附而工作的，不需要其他电子材料，不会有波动；
(6)在真空中无任何运动部件，高稳定性，也不会带来密封问题；
(7)低温泵的安装无任何方向要求；
(8)低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。

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液氧泵主要由机座、传动机构、十字头组件、泵体、缸套和柱塞、泵头和排液阀、密封填料、液体过滤网等部分组成。
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