在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。低温抽气的主要作用是低温冷凝、低温吸附和低温捕集。
低温泵使用标准：
(1)低温泵在获取洁净和无油真空方面，具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准；
(2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方有较大抽速；
(3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速；
(4)在要求大抽速的真空设备中，低温泵是经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速
(5)低温泵是基于低温吸附而工作的，不需要其他电子材料，不会有波动；
(6)在真空中无任何运动部件，高稳定性，也不会带来密封问题；
(7)低温泵的安装无任何方向要求；
(8)低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。

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因此，低温泵需要通过吸附材料来帮助其抽除气体。另外，吸附材料在低温下比无吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡压力。低温泵的工作方式是通过表面吸附而进行的，表面积越大对低温泵的工作性能越有利。因此，合适的吸附材料必须具有较大的比表面和吸附容量。对吸附材料进行表征的物理量主要有：几何形状和颗粒大小分布；表面结构；密度；比表面积；孔径分布、孔容和平均孔径大小等。研究低温泵的吸附材料主要是通过以上参数的表征而进行的。
耐腐蚀性：能够承受除了熔融的碱金属，氟化介质以及高于300℃氢氧化钠之外的所有强酸（包括王水）、强氧化剂、还原剂和各种的作用。
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