低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率、极限压力的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面、离子注入机和空间模拟装置等方面。
当活寒（或柱塞）从左向右移动时，泵缸内的容积就，压力随着降低，进入管路的液体压力大于泵缸中的压力时，液体在压差作用下，打开吸入阀而进入泵缸内。在传动箱的曲柄转过180º，活寒向左移动。由于低温液体基本上是不可压缩的，低温液体立即被活塞压缩而压力迅速升高。直到泵缸中的液体压力大到足以打开排出阀时，低温液体经过排出阀向排液管道输出。当活塞被曲柄拉动又向右移动时，重复以上过程。温州盛义低温活塞杆。

因此，低温泵需要通过吸附材料来帮助其抽除气体。另外，吸附材料在低温下比无吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡压力。低温泵的工作方式是通过表面吸附而进行的，表面积越大对低温泵的工作性能越有利。因此，合适的吸附材料必须具有较大的比表面和吸附容量。对吸附材料进行表征的物理量主要有：几何形状和颗粒大小分布；表面结构；密度；比表面积；孔径分布、孔容和平均孔径大小等。研究低温泵的吸附材料主要是通过以上参数的表征而进行的。

闭路循环气氦制冷机低温泵
它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，一级冷板温度为50～100K，典型应用是65K,用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。

低温泵使用标准：
(1)低温泵在获取洁净和无油真空方面，具有其他产品无法相比的优势。它可以作为研究其他真空泵对真空污染程度的标准；
(2)低温泵在抽除水蒸汽和其他潮湿混合气方有较大抽速；
(3)低温泵在抽取轻重量分子方面也具有较大抽速；
(4)在要求大抽速的真空设备中，低温泵是经济的。商品化的低温泵可以在很小的口径下提供大的抽速
(5)低温泵是基于低温吸附而工作的，不需要其他电子材料，不会有波动；
(6)在真空中无任何运动部件，高稳定性，也不会带来密封问题；
(7)低温泵的安装无任何方向要求；
(8)低温泵还可以进行选择性的抽取某种气体。
主要特点是耐高温性、耐高压、耐磨损、耐腐蚀性、热膨胀减少、导热性好。聚四氟乙烯加铜粉这种材料耐磨性是纯聚四氟乙烯的上百倍。 适应温度范围-196～300℃，密封压力达30MPa
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