低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率、极限压力的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面、离子注入机和空间模拟装置等方面。
活性炭在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。泵的极限压力为帕，工作压力范围为帕，要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒。此外，尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内，其抽气速率可达到106升/秒以上。

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吸附材料对低温泵的工作性能具有较大的影响。单从真空获得方面来说，一台无任何吸附剂的低温泵或许也可以满足要求。但是，一般情况下低温泵是依靠液氦或制冷机而获得低温的，其温度能达到4 K。而此时又需要低温泵抽除氦气，因为真空检漏会经常用到氦气。

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表面不粘性：已知的固体材料都不能粘附在表面上，是一种表面能小的固体材料。
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