低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率、极限压力的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面、离子注入机和空间模拟装置等方面。
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液氧泵主要由机座、传动机构、十字头组件、泵体、缸套和柱塞、泵头和排液阀、密封填料、液体过滤网等部分组成。
密封件：活塞环  导向环 密封圈
BPO-6000/3.0  BPCO2-600~1200/10   BPO-400~800/16.5  BPO-1000/16.5  BPO-2000/3  BYD-4000  BPO-1500
往复式低温泵/真空低温液体泵/低温液体泵/充瓶系统用低温泵/工业用三缸式大流量低温液氮泵/增压用低温液氧泵

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耐腐蚀性：能够承受除了熔融的碱金属，氟化介质以及高于300℃氢氧化钠之外的所有强酸（包括王水）、强氧化剂、还原剂和各种的作用。
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