激光谐振腔激光谐振腔是激光束产生的地方它是一个光放大器。谐振腔是安装了光学器件的热与机械的稳定结构。为获得大体积均匀的辉光放电，设计时一般采用分段电离，利用多个放电管分段放电。放电时，激体沿着它的玻璃管（放电管）流动，一般正电极位于气流方向上游负电极位于下游。当高压直流电流通过阴极和阳极时，会产生辉光放电，经过谐振腔的共振放大，产生高功率的激光输出。工作气体激发过程中产生的废热，要通过气体流动在热交换器中排出。
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高功率CO2激光切割加工激光器的技术要求1.工作气体快速冷却二氧化碳激光切割加工激光器的电光转换效率是很高的，一般在10%~20%范围内。其余的放电功率通过电子与气体粒子的弹性碰撞使气体加热，温度升高，对于高功率激光器来说，气体温度升高更快。当工作气压温度达到300℃时，二氧化碳激光器的激光上、下能级因不存在粒子反转，所以无激光输出。实际情况是气体温度大于150℃时，电光转换效率已明显下降。为此，要求激光切割加工器件具备能快速、有效地带走放电区气体的热量的能力。
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